配方管理系统RMS对半导体工厂设备里面配方进行管控，支持Online和Offline比对，支持上传和下载。

配方管理支持工厂主机在设备之间传输配方，并且在配方发生变化时通知工厂主机。RMS与EAP联结，实时管控机台所用配方与用户当初的设定是否匹配，从而使机台所用的配方更加安全，并对设备配方及其Recipe Body内容进行有效的存储、管理和控制。

RMS的主要功能包括：

– 设备Recipe模型管理

– 对设备上所有Recipe List管理

– 对设备上所有Recipe Body管理

– 对设备上所有Recipe Body版本控制

–  Recipe Body比对（Online & Offline）

– 配方使用次数和周期管理

– 权限、步骤，参数、范围管控

– 黄金配方

上扬软件RMS实现配方自动选择、自动加载、自动校验，确保配方的完整性并支持可追溯性，以及使用次数的限制，避免生产加工过程中配方用错以及被误修改的可能性，保证机台在Auto Run时配方的准性。