在当前及未来市场，半导体加工企业设备投资成本日益飙升，晶圆厂75%以上的建厂成本均用于设备采购，因此设备效率最大化是半导体厂降低成本、提高效率的主要方式之一。

上扬软件以故障监测、分类和预测为主要功能的Terra FDC正是提高设备利用率的利器

该系统采用“分层诊断”模式，透过一层层的故障侦测法则，如同天罗地网般侦测机台设备可能发生的故障，并进行诊断与分类。

同时利用算法和经验模型，包括统计学算法、工艺模型的算法和人工智能算法，预配置参数限制值，持续监控设备参数，以对设备健康状态进行主动且快速的反馈，当设备发生故障时，系统会自动采取相关警报和控制措施。

其主要功能包括：

– 避免设备故障造成的产品不良，提升产品良率；

– 减少设备意外停机时间，提高产品周转率；

– 减少测试晶片运用从而降低成本；

– 对设备运行实时监控；

– 同时支持整体机和子腔体的实时监控。

上扬Terra FDC可以全角度维护系统安全运行，即时发现并上报设备故障，满足半导体企业不断变化的生产需求。